EBARA维修为上凯仪主要维修品牌，具有强大的维修能力。并具有全系列维修能力，从最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。主要客户为国内各半导体、光电等主要客户：台积电（TSMC)、华虹宏力（HHNEC)、华润上华（CSMC)、杭州士兰（SL)等。