EBARA维修为上凯仪主要维修品牌，具有强大的维修能力。并具有全系列维修能力，从最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。从2003年开始就致力于配合各客户维修EBARA系列PUMP。主要客户为国内各半导体，光电等主要客户：台积电（TSMC)、华虹宏力（HHNEC)、华润上华（CSMC)、杭州士兰（SL)等。