EBARA維持は上凱儀の主要的な維持ブランドで、強大な維持能力を有します。、最も早くの80 *25シリーズからAシリーズ、AAシリーズないし最新のEVSシリーズまで、全シリーズの維持能力を備えています。2003年から各お客様のためEBARAシリーズPUMPの維持に取り組んでいます。主要の取引先には台積電（TSMC-10）、華虹宏力（HHNEC）、華潤上華（CSMC）、杭州士蘭（SL）、業成光電などの国内の半導体・光電企業があります…2007年から毎年の業務量は逓増の傾向を呈していて、最初の年間業務量は80台であるが、2014になり年間業務量は400台を超えました。